一种带有微结构的原子级平整器件
授权
摘要
本新型提供一种带有微结构的原子级平整器件，该器件由下至上包括基底、粘结材料、位于基底上的第二介质层、微结构、第一介质层，其中第一介质层表面为原子级光滑表面，所述基底和所述介质层和/或所述微结构之间通过所述粘接材料相连接，所述介质层的厚度为2‑100nm，所述介质层的表面为原子级光滑表面。该器件可以作为电容式mems超滑发电机的核心部件，利用了二维材料表面的原子级平整性，即二维材料(如石墨烯)可以有多大的平整表面，与之相对的生长上去的第一介质层就有多大的平整表面，因此有广泛的普适性。
基本信息
专利标题 ：
一种带有微结构的原子级平整器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021226618.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-28
授权号 ：
CN213738598U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
郑泉水向小健
申请人 ：
深圳清华大学研究院;清华大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区科技园高新南七道深圳清华大学研究院
代理机构 ：
深圳市惠邦知识产权代理事务所
代理人 ：
满群
优先权 ：
CN202021226618.7
主分类号 ：
B81B5/00
IPC分类号 ：
B81B5/00 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B5/00
由彼此相对移动的元件组成的装置，例如由滑动或转动元件组成
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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