一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统
授权
摘要

本实用新型提供了一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统。它包括电磁感应加热系统和设置在其内的一组退火工装,一组退火工装包括垂直设置的至少一个退火工装,退火工装为“凹”字形结构,内外边都是正方形结构,中间一个凹槽,凹槽的内表面镶嵌有铁环层,铁环层包括一层镶入凹槽底面的分布均匀但彼此绝缘的微米级铁环,蓝宝石晶体片装在退火工装内,电磁感应加热系统包括可调节参数的交变磁场。本实用新型可以提高蓝宝石单晶片的退火质量,同时有效地降低退火工艺的综合成本等特点。

基本信息
专利标题 :
一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021251868.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-01
授权号 :
CN212955448U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
左洪波杨鑫宏李铁李岩
申请人 :
哈尔滨秋冠光电科技有限公司
申请人地址 :
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021251868.6
主分类号 :
C30B33/02
IPC分类号 :
C30B33/02  C30B29/20  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B33/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理
C30B33/02
热处理
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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