本实用新型揭示了一种晶圆高效抓取装置，包括呈圆柱状的基座，所述基座外圆周面的四周均布有一组抓取块，所述抓取块上固设有一滑杆，所述滑杆至少部分贯穿所述基座延伸置于所述基座的容置腔内，所述基座上固设有一可上下移动的驱动件，所述驱动件可驱动所述抓取块面向或背向所述基座的中轴线移动；所述基座的底部还固设有一吹气板，所述吹气板上还设有吹气孔。本实用新型的有益效果主要体现在：该装置在将晶圆抓取时，吹气孔与晶圆之间有气体流动，产生微小的间隙，从而使得晶圆与基座之间不直接接触，减少对晶圆的污染，降低在抓取时对晶圆的损坏，提高良品率。