本实用新型公开了一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，涉及配件加工用技术领域，针对钛腔体模拟片配件加工过程中快速生产的问题，现提出如下方案，包括第一壳体，所述第一壳体的内部设有固定板，所述第一壳体的底部内壁上通过螺栓连接有电机，所述电机的输出端安装有转轴。本实用新型通过各种结构的组合使得装置不仅能够对配件的加工以机械取代人工，从而不仅提高工作效率，降低工作人员的负担，且本装置能够方便准确的加工出不同规格的配件，从而提高装置的适用范围，而通过增大该配件的直径，从而可以完全覆盖晶圆加热器的表面，反应的附属物不会沉积到晶圆加热器的表面，延长晶圆加热器的使用寿命，减小成本。