本实用新型公开了一种气相沉积腔体的感温装置，包括有温度感应器、测温线、连接器接头及计量显示器，其中测温线为双线，测温线的一端与深埋于铝盘内部的温度感应器相连，另一端则通过连接器接头接至计量显示器，其特征在于：所述的测温线在易损区段的两端分别装设有2组前压线端子和2组后压线端子，形成一个带分段式测温线的感温装置；而且，所述的前、后压线端子均是采用与测温线相一致的材质制成。这种采用分段式测温线通过压线端子连接的感温装置，保持了温度测量的准确性，可方便更换易损区段的测温线，避免报废整个感温装置，既节省了机台设备的维修成本，又杜绝了因材料报废而造成的环境污染。