气相沉积腔体的感温装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种气相沉积腔体的感温装置,包括有温度感应器、测温线、连接器接头及计量显示器,其中测温线为双线,测温线的一端与深埋于铝盘内部的温度感应器相连,另一端则通过连接器接头接至计量显示器,其特征在于:所述的测温线在易损区段的两端分别装设有2组前压线端子和2组后压线端子,形成一个带分段式测温线的感温装置;而且,所述的前、后压线端子均是采用与测温线相一致的材质制成。这种采用分段式测温线通过压线端子连接的感温装置,保持了温度测量的准确性,可方便更换易损区段的测温线,避免报废整个感温装置,既节省了机台设备的维修成本,又杜绝了因材料报废而造成的环境污染。
基本信息
专利标题 :
气相沉积腔体的感温装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720131825.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-12-21
授权号 :
CN201145617Y
授权日 :
2008-11-05
发明人 :
刘刚程光中刘涛储著飞
申请人 :
和舰科技(苏州)有限公司
申请人地址 :
215025江苏省苏州市工业园区星华街333号
代理机构 :
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 :
陈忠辉
优先权 :
CN200720131825.2
主分类号 :
G01K7/00
IPC分类号 :
G01K7/00 G01K13/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01K
温度测量;热量测量;未列入其他类目的热敏元件
G01K7/00
以利用直接对热敏感的电或磁性元件为基础的温度测量
法律状态
2011-03-09 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101055738839
IPC(主分类) : G01K 7/00
专利号 : ZL2007201318252
申请日 : 20071221
授权公告日 : 20081105
终止日期 : 20100121
号牌文件序号 : 101055738839
IPC(主分类) : G01K 7/00
专利号 : ZL2007201318252
申请日 : 20071221
授权公告日 : 20081105
终止日期 : 20100121
2008-11-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN201145617Y.PDF
PDF下载