一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，涉及加热保护领域，针对气相沉积钽腔体的底座加热保护的问题，现提出如下方案，包括固定盒，所述固定盒的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆靠近驱动电机的一端外圈转动套接有隔离板，所述隔离板的外壁周圈固定套接在固定盒的内壁周圈里，所述螺纹杆的外圈转动套接有螺纹套，所述螺纹套的左侧壳体外壁焊接有固定杆，所述固定杆的左端固定连接有连接块。本实用新型设计新颖，方便对气相沉积钽腔体的底座进行固定、加持，从而在对气相沉积钽腔体的底座进行加热的时候可以快速的安装，由此提高了效率，适合进行市场推广。
基本信息
专利标题 ：
一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021787426.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN213172532U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
刘祥超
申请人 ：
上海知昊电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区川宏路528号
代理机构 ：
北京中索知识产权代理有限公司
代理人 ：
郭瑞
优先权 ：
CN202021787426.3
主分类号 ：
C23C14/00
IPC分类号 ：
C23C14/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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