一种单侧法兰结构的长晶炉
授权
摘要
本实用新型提供了一种单侧法兰结构的长晶炉,所述长晶炉包括石英钟罩和下盖,所述石英钟罩具有开口端、封闭端和纵向延伸的罩体,所述罩体内形成反应腔室,所述下盖与石英钟罩的开口端通过工字型法兰连接,所述工字型法兰与石英钟罩之间及所述工字型法兰与下盖之间均使用密封圈密封。本申请使用石英钟罩代替现有的炉体和上盖,无需上侧法兰结构,只需下侧的下盖与石英钟罩之间的法兰及密封圈,密封点减少,使得生产过程发生泄漏的点也少,不仅提高了密封效果,且降低了设备故障率,本申请的结构简单,制作成本低。
基本信息
专利标题 :
一种单侧法兰结构的长晶炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021849430.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-28
授权号 :
CN213142282U
授权日 :
2021-05-07
发明人 :
宋建张维刚杨彦岭张开端
申请人 :
山东天岳先进科技股份有限公司
申请人地址 :
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 :
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘德顺
优先权 :
CN202021849430.8
主分类号 :
C30B23/00
IPC分类号 :
C30B23/00 C30B29/36
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B23/00
冷凝气化物或材料挥发法的单晶生长
法律状态
2021-05-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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