一种晶圆移动抓取机构
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摘要

本实用新型公开了半导体制造领域内的一种晶圆移动抓取机构,包括固定在机械手上的移动支架,包括相互对应设置的上夹爪和下夹爪,下夹爪与移动支架固定连接,所述下夹爪包括安装部和定位部,安装部通过紧固件与移动支架相固定,所述定位部上设置有向上凸起的矩形定位凸台,定位凸台的左右两侧分别设置有左侧板和右侧板;移动支架包括水平的连接部一和竖直的连接部二,所述连接部二上固定连接有压紧气缸,所述上夹爪与压紧气缸的工作端相固定,上夹爪包括基体部和压靠部,所述基体部呈L形,基体部通过紧固件与压紧气缸的工作端相固定,所述压靠部与定位部相对应设置。本实用新型能够夹紧固定晶圆,并且防止金属颗粒产生静电对晶圆造成影响。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆移动抓取机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021854447.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-31
授权号 :
CN212947834U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
涂可嘉张德青刘明群赵原
申请人 :
江苏汇成光电有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
代理机构 :
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 :
王峰
优先权 :
CN202021854447.2
主分类号 :
B25J11/00
IPC分类号 :
B25J11/00  B25J15/00  B25J15/08  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25J
机械手;装有操纵装置的容器
B25J11/00
不包含在其他组的机械手
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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