基于PVD技术的曲面镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了基于PVD技术的曲面镀膜装置，包括镀膜装置主体，还包括固定机构，所述镀膜装置主体的顶部一侧固定安装有镀膜室，且所述镀膜室上固定安装有固定机构，且所述固定机构包括固定安装在镀膜室内侧的夹持机台，且所述夹持机台的顶部两侧位置处均滑动安装压制滑杆，且所述夹持机台的两侧配合开设有供压制滑杆滑动的限位滑槽；通过设计安装在镀膜室上的固定机构，实现了对镀膜工件的夹持固定，且通过滑动安装在夹持机台两侧的压制滑杆，实现了对工件的压制固定，且利用工件推挤块和推挤弹簧的推挤处理，保证了工件在加工过程中的稳定性，且滑动式的安装方式，极大的便捷了对工件的快速拆除。
基本信息
专利标题 ：
基于PVD技术的曲面镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021943937.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213172555U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
陈琳庞盼罗军廖斌金小越包放
申请人 ：
北京市辐射中心
申请人地址 ：
北京市海淀区学院南路12号
代理机构 ：
合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘跃
优先权 ：
CN202021943937.X
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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