一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置，包括：真空箱体和位于所述真空箱体内的被镀件固定架、被镀件移动机构、溅射阴极、阴极运动机构；本实用新型相比于传统的平面镀膜装置，是两个零件两个表面同时进行磁控溅射镀膜，根据溅射基板的尺寸，可以增加环路磁铁数量，即增加电离子环状封闭跑道数，进而扩大溅射面积，提高生产效率。而且与传统平面溅射阴极相比，同等情况下阴极结构的体积缩小了。磁铁座上下面布置磁铁是为了形成环状封闭跑道，因此主要是在正反面上进行溅射工作。
基本信息
专利标题 ：
一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920668908.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-10
授权号 ：
CN210287144U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
崔岸刘天赐黄显晴徐晓倩杨伟丽郝裕兴陈宠
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
吉林省长春市人民大街5988号
代理机构 ：
北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
崔自京
优先权 ：
CN201920668908.8
主分类号 ：
C03C17/00
IPC分类号 ：
C03C17/00 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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