可调溅射范围的磁控溅射玻璃镀膜装置
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种可调溅射范围的磁控溅射玻璃镀膜装置,包括镀膜机构,其固定设置在支架上部;调节辊,其对称设置在镀膜机构下部;清洁块,其与容置槽相配合,且活动设置在容置槽内,并可沿容置槽轴向方向往复运动;侧刮板和正刮板,其活动设置在清洁块上,且分别与容置槽的侧面和底面紧密贴合。本发明通过镀膜机构阴极发射口对称设置调节辊,通过调节调节辊之间距离来实现对镀膜间隙宽度的调节,同时在调节辊上环形阵列多组凸块,并且凸块之间形成容置槽,超出镀膜间隙的溅射无落入到容置槽内,由于容置槽内设置了能够进行往复运动的清洁块,清洁块在往复运动的过程实现对沉积物的去除,在镀膜过程中就能实现清洁。

基本信息
专利标题 :
可调溅射范围的磁控溅射玻璃镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114455852A
申请号 :
CN202111625920.9
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
倪值森陈诚赵琰张见平吴俊保
申请人 :
凯盛信息显示材料(黄山)有限公司
申请人地址 :
安徽省黄山市休宁县经济开发区高新电子信息产业园孵化器
代理机构 :
昆明合众智信知识产权事务所
代理人 :
朱世新
优先权 :
CN202111625920.9
主分类号 :
C03C17/00
IPC分类号 :
C03C17/00  B08B9/087  C23C14/35  C23C14/54  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C03
玻璃;矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分;玻璃的表面处理;由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理;玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃,例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C03C 17/00
申请日 : 20211228
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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