一种螺纹卧式组装硅舟
授权
摘要
本实用新型，一种螺纹卧式组装硅舟，涉及半导体制造技术领域，包括：挡板，沟棒，沟棒包括第一连接端、承接段和第二连接端，挡板上设有沿其厚度方向贯通的导向孔，沟棒与挡板通过紧固件可拆卸连接，硅舟为可拆装的模块化结构，拆装便捷且转运方便，对空间的占用较小，且装载的硅片数量较多，解决了现有技术中硅舟稳定性较差，装载硅片数量较少，以及拆卸组装难度较大的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
一种螺纹卧式组装硅舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022008761.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-14
授权号 ：
CN214244673U
授权日 ：
2021-09-21
发明人 ：
范明明韩颖超李长苏
申请人 ：
杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市滨江区滨康路668号C幢
代理机构 ：
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 ：
郑汝珍
优先权 ：
CN202022008761.5
主分类号 ：
C30B33/02
IPC分类号 ：
C30B33/02 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B33/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理
C30B33/02
热处理
法律状态
2021-09-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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