一种硅片转运架

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片转运架，包括底板，所述底板的顶部对称安装有侧板，所述底板的背部中心处固定有背板架，所述侧板的顶部外壁固定有把手，所述底板的顶部固定有硅片架，所述硅片架的四个拐角位置处开设有贯通的通孔，所述背板架和侧板的内壁均对称安装有防护组件。本实用新型结构新颖，构思巧妙，将硅片依次堆积在硅片架的顶部，且通过设置在底板四周的背板架和侧板对硅片形成防护，通过手提把手，实现了对硅片进行转运，不仅转运效率高，而且结构简单，使用成本低。

基本信息

专利标题：

一种硅片转运架

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022081255.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-21

授权号：

CN213386082U

授权日：

2021-06-08

发明人：

成瑞娥

申请人：

无锡中环应用材料有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市宜兴经济开发区东氿大道

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

聂启新

优先权：

CN202022081255.9

主分类号：

B65G7/12

IPC分类号：

B65G7/12