本实用新型涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源和静电发生装置，基体包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部上设置有预设路径；电源包括正极端和负极端；静电发生装置连接于电源，静电发生装置包括正电荷端头和电子端头，正电荷端头和电子端头均设于支撑部；所述正电荷端头与所述电子端头在同一所述预设路径上交替设置。本实用新型提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，正电荷端头与电子端头沿同一预设路径交替设置，使得电场均匀分布，有助于晶圆均匀受力，保证晶圆稳定传送，还有助于减小对晶圆的损伤。