一种半导体芯片生产机械手传送装置
授权
摘要
本实用新型公开了半导体芯片生产技术领域的一种半导体芯片生产机械手传送装置，包括底板，所述底板的顶部固定安装有气缸，所述气缸的顶部固定安装有盒体，所述盒体的内部设置有转动机构，本实用新型通过负压机构来使空心管和内管的内部产生负压，当吸盘与工件接触的时候，负压机构产生负压将工件牢固的吸附在吸盘上，从而通过转动机构以及气缸的运作来对工件进行转运，并且该装置中的吸盘为硅胶材质设计，能够有效的提升吸盘与工件之间的密封性，同时能够对工件形成较好的防护，避免对工件造成损伤，而且该装置中配套设置有副吸盘，在吸附较大体积的芯片时，能够辅助主吸盘对工件进行加固，防止芯片掉落。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体芯片生产机械手传送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122361286.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-28
授权号 ：
CN216189170U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
李诗雨
申请人 ：
李诗雨
申请人地址 ：
陕西省西安市长安区西沣路兴隆段266号西安电子科技大学南校区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122361286.4
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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