一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备，包括机械手臂，所述机械手臂内部设有腔体，所述腔体内部设有滑杆，所述腔体内固定有两块限位板，所述滑杆通过贯穿两块所述限位板在腔体内部上下滑动，所述机械手臂外壁固定有与滑杆外壁连接的伸缩机构，所述机械手臂顶部设有用于夹持芯片的夹持机构，所述夹持机构通过活动机构与滑杆活动连接，所述机械手臂下方设有凸形固定底座，所述机械手臂下端设有与凸形固定底座配合的凹口，所述机械手臂通过第二转轴与凸形固定底座活动连接。本实用新型结构合理，便于对不同长度的半导体芯片进行固定，芯片在固定的时候不易受损，且较传统机械手机动性更强。

基本信息

专利标题：

一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022280528.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-14

授权号：

CN214878420U

授权日：

2021-11-26

发明人：

占方耀

申请人：

深圳市永而佳电子有限公司

申请人地址：

广东省深圳市光明新区公明办事处玉律社区第六工业区第21栋2、3楼

代理机构：

杭州知管通专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

尉敏

优先权：

CN202022280528.2

主分类号：

B65G47/91

IPC分类号：

B65G47/91