一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备,包括机械手臂,所述机械手臂内部设有腔体,所述腔体内部设有滑杆,所述腔体内固定有两块限位板,所述滑杆通过贯穿两块所述限位板在腔体内部上下滑动,所述机械手臂外壁固定有与滑杆外壁连接的伸缩机构,所述机械手臂顶部设有用于夹持芯片的夹持机构,所述夹持机构通过活动机构与滑杆活动连接,所述机械手臂下方设有凸形固定底座,所述机械手臂下端设有与凸形固定底座配合的凹口,所述机械手臂通过第二转轴与凸形固定底座活动连接。本实用新型结构合理,便于对不同长度的半导体芯片进行固定,芯片在固定的时候不易受损,且较传统机械手机动性更强。
基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022280528.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-14
授权号 :
CN214878420U
授权日 :
2021-11-26
发明人 :
占方耀
申请人 :
深圳市永而佳电子有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市光明新区公明办事处玉律社区第六工业区第21栋2、3楼
代理机构 :
杭州知管通专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
尉敏
优先权 :
CN202022280528.2
主分类号 :
B65G47/91
IPC分类号 :
B65G47/91
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置;使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的,如吸盘、抓手装置
法律状态
2021-11-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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