一种半导体芯片测试用机械手

授权

摘要

本实用新型涉及半导体生产测试领域的一种半导体芯片测试用机械手，包括上部固定座，所述上部固定座直接固定在机械臂上，所述上部固定座设置有若干组，每个上部固定座下面均配合设置有独立的纵向轨道，相邻的纵向轨道之间配合设置有横向轨道，所述横向轨道的下面配合设置有机械手组件，所述机械手组件包括机械手滑动座，配合机械手滑动座设置的机械手控制座，设置在机械手控制座底部的机械抓手，设置在机械抓手底部的吸盘组件；该实用新型以在芯片测试过程中检测芯片与测试底座的位置关系，调节控制好距离并保持平衡，降低测试过程中发生的质量风险和良率损失，提高工作效率。

基本信息

专利标题：

一种半导体芯片测试用机械手

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921652676.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-30

授权号：

CN210704803U

授权日：

2020-06-09

发明人：

向俊武周游陈小跃陈浩

申请人：

安测半导体技术（江苏）有限公司

申请人地址：

江苏省扬州市邗江区安桥路1号高新区大楼9楼

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司

代理人：

陈亮

优先权：

CN201921652676.3

主分类号：

B25J5/04

IPC分类号：

B25J5/04 B25J15/06