一种用于半导体芯片生产用机械手

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摘要

本实用新型公开了一种用于半导体芯片生产用机械手，包括支撑板、底座、支撑柱和驱动电机，所述支撑板的顶端固定有底座，且底座的内部设置有驱动电机，所述底座的顶端设置有支撑柱，所述支撑柱的表面设置有滑槽，所述支撑柱的顶端设置有第一伺服电机，所述夹板的两侧均设置有遮挡结构，所述夹板的顶端或底端均设置有防护结构，所述支撑柱的内部活动有丝杆，所述丝杆底端与底端的外部套设有移动筒。本实用新型通过设置有调节结构，当需要拿取较远的物体时，启动第二伺服电机带动第二齿轮旋转，同时带动第一齿轮旋转，而在第一齿轮旋转的同时使得推杆旋转外移，此时导向板进行滑动，实现了该机械手长度调节。

基本信息

专利标题：

一种用于半导体芯片生产用机械手

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022055733.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-18

授权号：

CN213647563U

授权日：

2021-07-09

发明人：

张建锐王虎斌

申请人：

盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村

代理机构：

上海骁象知识产权代理有限公司

代理人：

孙路生

优先权：

CN202022055733.9

主分类号：

B25J9/12

IPC分类号：

B25J9/12 B25J19/00