一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置,包括底座,底座的顶部两端对称固定设有支撑板,支撑板的顶部活动插设有活动板,两个活动板的顶部之间固定设有固定座,固定座下方的底座顶部固定设有电动推杆,固定座的顶部固定设有活动槽,活动槽内转动插设有丝杆,丝杆上螺纹转动套设有移动座,移动座的一端固定设有连接柱,连接柱远离移动座的一端转动套设有支撑杆,支撑杆上固定设有控制装置,支撑杆远离移动座的一端顶部固定设有气缸,气缸的伸缩端活动延伸出支撑杆固定设有基座,基座的底部固定设有真空吸头。该种半导体芯片生产设备的机械手传送装置操作简单,能够进行灵活调节,提高了装置的适用性。

基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122955784.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
CN216426006U
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
卢晓冬
申请人 :
宜兴同芯电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市宜兴市张渚镇工业集中区庆丰路77号
代理机构 :
宜兴市兴宇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杜振军
优先权 :
CN202122955784.1
主分类号 :
B65G47/91
IPC分类号 :
B65G47/91  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置;使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的,如吸盘、抓手装置
法律状态
2022-05-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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