传送机械手
授权
摘要
本实用新型涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源和静电发生装置，基体包括用于支撑晶圆的支撑部；静电发生装置，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部，所述电源用于向所述正电荷端头和所述电子端头供电，以使所述正电荷端头产生正电荷，所述电子端头产生电子。本实用新型提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，可降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
传送机械手
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022158697.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-27
授权号 ：
CN213752665U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
周亮
申请人 ：
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
李文丽
优先权 ：
CN202022158697.9
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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