半导体芯片用掩模版传送装置及其传送方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种半导体芯片用掩模版传送装置及其传送方法,其中,半导体芯片用掩模版传送装置用于自光刻机内取出曝光后的掩模版,并送至后处理设备;包括主体、检测机构以及传送机构;主体活动设置,内设有恒温腔;检测机构包括感应器,用以检测主体的位置信息;传送机构包括控制器以及传送手臂,传送手臂活动设于恒温腔,具有取版状态和放版状态,控制器与感应器以及传送手臂电连接;其中,处于取版状态时,传送手臂用以自光刻机内拾取掩模版,并移送至恒温腔内;处于放版状态时,传送手臂用以将恒温腔内的掩模版移送至后处理设备内;通过该传送装置传送曝光后的掩模版,保证掩模版在移送过程中的清洁度,提高掩模版的质量;同时减少人力成本。
基本信息
专利标题 :
半导体芯片用掩模版传送装置及其传送方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114408518A
申请号 :
CN202210336511.5
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-04-01
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
谢超柯汉奇黄执祥张道谷
申请人 :
深圳市龙图光电有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区沙井街道新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房一楼
代理机构 :
深圳市恒程创新知识产权代理有限公司
代理人 :
苗广冬
优先权 :
CN202210336511.5
主分类号 :
B65G43/08
IPC分类号 :
B65G43/08 B65G47/90 G03F7/20
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G43/00
控制装置,如用于安全、警报、故障排除装置
B65G43/08
由供给、输送或卸出的物件或物料操纵的控制装置
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65G 43/08
申请日 : 20220401
申请日 : 20220401
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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