用于测量的系统
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本申请公开了一种用于测量的系统。测量系统配置为与处理设备集成,处理设备用于对结构进行光学测量,测量系统包括:支撑组件,用于将待测结构保持在测量平面中,使结构沿着至少一个第一横轴移动,并且用于通过z轴载物台改变测量平面的z轴位置;其中,z轴载物台包括两个相对对称的楔块,楔块支撑中间元件,中间元件具有与楔块接触的定向下表面;其中,支撑组件配置为通过改变楔块之间的距离来改变测量平面的z轴位置。
基本信息
专利标题 :
用于测量的系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022179857.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-19
授权号 :
CN213874187U
授权日 :
2021-08-03
发明人 :
埃拉德·多坦莫舍·万霍特斯克尔希莫·亚洛夫瓦莱里·戴希罗伊·林格尔本亚明·舒尔曼纽希·巴尔·欧恩沙哈尔·巴桑
申请人 :
诺威量测设备股份有限公司
申请人地址 :
以色列雷霍沃特
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
沈丹阳
优先权 :
CN202022179857.8
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24 G01N21/27 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2021-12-21 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01B 11/24
变更事项 : 专利权人
变更前 : 诺威量测设备股份有限公司
变更后 : 诺威有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 以色列雷霍沃特
变更后 : 以色列雷霍沃特
变更事项 : 专利权人
变更前 : 诺威量测设备股份有限公司
变更后 : 诺威有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 以色列雷霍沃特
变更后 : 以色列雷霍沃特
2021-08-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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