本实用新型公开了半导体制造领域内的一种内引脚接合机台颗粒排除装置，包括机台面板，所述机台面板上沿横向间隔开设有若干排出槽，机台面板上对应每个排出槽均固定连接有一个收集箱，所述收集箱靠近机台的一侧开设有开口，收集箱依次包括上侧板、下侧板、左侧板、右侧板和后侧板，收集箱的上侧板上一体设置有排风筒，排风筒与收集箱内部相连通，排风筒通过连接管与车间吸风系统相连通；所述上侧板、下侧板、左侧板和右侧板靠近机台面板的一边均设置有密封边板，每个密封边板与机台面板之间均设置有密封条，密封边板通过若干紧固件与机台面板相固定连接。本实用新型能够将机台内部的颗粒抽出并送至车间外，避免对芯片产品造成影响。