一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩
授权
摘要
本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，包括筒体，所述筒体的外侧分别固定安装有吹风通道、插销杆连杆操作把手、外部散热孔板、插销杆连杆操作机构与吊装孔板固定梁，所述吹风通道的一侧固定安装有吹风进入口，该用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，通过冷却罩筒体部分挡住反应腔体的外部热辐射，可防止反应腔体表面热辐射扩散到外部损坏周围其他物体，冷却罩的外部散热孔板一定程度的加快了反应腔体的冷却，而冷却罩借由外部鼓风机，将冷风通过吹风通道与吹风进入口吹到反应腔体外部，对反应腔体进行降温，让反应腔体快速冷却，提高了生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022235874.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-09
授权号 ：
CN213327824U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
王彤
申请人 ：
常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路16号
代理机构 ：
上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
丁剑
优先权 ：
CN202022235874.9
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 B66C1/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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