本实用新型公开了一种薄膜沉积反应腔腔体清洁装置，包括限位块、固定板、电机和主轴，所述固定板的底端安装有电机，且电机的底端固定有主轴，所述主轴的一侧安装有第一刮板。本实用新型通过在刮板的内部安装有清洁结构，使用时可第一刮板和第二刮板进行首次清洁后可将清洁结构与刮板之间进行安装，使用时将卡接板与刮板内部设置的卡接槽对接，插接后将固定栓插接在卡接板与卡接槽内设置对应的预留槽内部，完成对清洁结构的安装固定，使用时电机带动主轴旋转时，主轴带动第一刮板和第二刮板旋转，带动毛刷头旋转，完成对腔体内壁的细致清洁过程，通过该设置使装置使用时对腔体内壁清洁更加彻底，使用更加高效便捷。