一种圆晶自动去胶机用供水雾化结构

授权

摘要

本实用新型公开了一种圆晶自动去胶机用供水雾化结构，包括雾化管和活动管；所述的活动管与所述的雾化管装配，活动管与所述的雾化管连通，所述的活动管沿着雾化管的长度方向作移动动作，且活动管在移动后也可以实现与所述的雾化管相对固定，从而方便将水雾喷射到圆晶片表面，并且降低了水雾的外协量，提高了水资源的利用率，方便人们使用。

基本信息

专利标题：

一种圆晶自动去胶机用供水雾化结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022356123.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-21

授权号：

CN214391306U

授权日：

2021-10-15

发明人：

何浩梁

申请人：

广州市鸿浩光电半导体有限公司

申请人地址：

广东省广州市增城区新塘镇荔新十二路96号9幢103房

代理机构：

广州正驰知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

洪安鹏

优先权：

CN202022356123.2

主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67