一种掩膜版表面缺陷检测装置

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摘要

本实用新型公开了一种掩膜版表面缺陷检测装置，包括设备本体，所述设备本体内腔的顶部固定连接有丝杠，所述丝杠的表面滑动连接有进步电机，所述进步电机的底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底端固定连接有激光发生器，所述激光发生器的底部固定连接有激光扫描器。通过设计的丝杠、进步电机、电动伸缩杆、激光发生器、激光扫描器等结构之间的相互配合下，可以对掩膜版表面的缺陷进行检测，增加设备对掩膜版表面缺陷检测的使用效果，也使得设备的实用性能增加，有效的解决了设备对掩膜版检测的工作效率下降设备的问题。

基本信息

专利标题：

一种掩膜版表面缺陷检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022495825.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-11-03

授权号：

CN213715069U

授权日：

2021-07-16

发明人：

校微娜

申请人：

上海禾本电子科技有限公司

申请人地址：

上海市徐汇区虹梅路2071号1幢3层305室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202022495825.9

主分类号：

G01N21/88

IPC分类号：

G01N21/88