含MTJ器件的多层底部电极
实质审查的生效
摘要
提供了一种用于包含磁性隧道结(MTJ)的器件的多层底部电极，该多层底部电极从下到上包括具有第一直径并且由第一底部含电极金属层的剩余部分构成的基段，具有第二直径并且由第二底部含电极金属层的剩余部分构成的中段，具有第三直径并且由第三底部含电极金属层的剩余部分构成的上段，其中，第一直径大于第二直径，第三直径等于或小于第二直径。每个多层底部电极的较宽基段防止所得底部电极的倾斜和/或弯曲。由此提供稳定的底部电极。
基本信息
专利标题 ：
含MTJ器件的多层底部电极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270519A
申请号 ：
CN202080057836.9
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-08-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
B·多利斯T·苏万纳斯里N·马查克P·哈什米
申请人 ：
国际商业机器公司
申请人地址 ：
美国纽约
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
申发振
优先权 ：
CN202080057836.9
主分类号 ：
H01L27/22
IPC分类号 ：
H01L27/22
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/22
申请日 : 20200818
申请日 : 20200818
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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