具有集成处理气体分配的单片式模块化微波源
实质审查的生效
摘要
本文公开的实施方式包括用于源阵列的外壳。在一个实施方式中，外壳包括导电体，其中导电体包括第一表面和与第一表面相对的第二表面。在一个实施方式中，穿过导电体形成多个开口，并且在导电体的第二表面中设置通道。在一个实施方式中，盖在通道之上，并且盖包括穿过盖的厚度的第一孔。在一个实施方式中，外壳还包括穿过导电体的厚度的第二孔。在一个实施方式中，第二孔与通道相交。
基本信息
专利标题 ：
具有集成处理气体分配的单片式模块化微波源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114514595A
申请号 ：
CN202080066972.4
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
詹姆斯·卡达希理查德·C·福维尔拉里·D·伊丽莎加西尔瓦斯特·罗德里格斯弗拉基米尔克·尼亚齐克菲利普·艾伦·克劳斯蔡泰正
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202080066972.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C16/511 C23C16/455
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20200917
申请日 : 20200917
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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