本申请提供用于大面积基板的处理室中的气体分配用的气体分配板实施例。该等实施例描述一用于具有盖板的等离子处理室的气体分配板组件，包含：一扩散板，具有：一上游侧、一面向处理区的下游侧、及数个气体通道，形成穿过该扩散板；及一档板，放置于处理室的盖板与扩散板之间，具有数个孔，由档板上表面延伸至下表面，其中该等孔具有至少两侧。档板的小针孔是用以允许足够的气体混合物通过，而档板的大孔则用以改良整个基板的处理均匀性。