制造用于等离子加工设备的气体分配构件的方法
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摘要
本发明提供了制造用于等离子加工设备的气体分配构件的方法。气体分配构件可以是电极、气体分配板或其他构件。所述方法包括通过例如机械制造技术的适用技术在气体分配构件中制造喷气孔，测量通过气体分配构件的气体流量，随后通过相同技术或者通过例如激光钻孔的不同技术调节气体分配构件的透气性。可以在所述构件的一个或多个区域处调节气体分配构件的透气性。
基本信息
专利标题 ：
制造用于等离子加工设备的气体分配构件的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101495268A
申请号 ：
CN200680008080.9
公开（公告）日 ：
2009-07-29
申请日 ：
2006-02-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
R·J·斯蒂格
申请人 ：
兰姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
余 刚
优先权 ：
CN200680008080.9
主分类号 ：
B23Q17/00
IPC分类号 ：
B23Q17/00 B21D39/03 C23F1/00 H01L21/26 C23C16/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23Q
机床的零件、部件或附件，如仿形装置或控制装置；以特殊零件或部件的结构为特征的通用机床；不针对某一特殊金属加工用途的金属加工机床的组合或联合
B23Q17/00
机床上的指示或测量装置
法律状态
2011-06-08 ：
授权
2009-09-23 ：
实质审查的生效
2009-07-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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