通过将介电衬底(109)暴露于等离子体放电并向该介电衬底施加脉冲电压波形来确定用于该介电衬底(109)的等离子体加工的离子能量。脉冲电压波形包括脉冲序列，每个脉冲包括较高的电压区间和具有电压斜率的较低的电压区间。进一步地，生成该序列的彼此之间具有不同电压斜率的第一脉冲，并将这些第一脉冲施加到该介电衬底。对于这些第一脉冲中的每一个，确定该电压斜率(S)和对应于该电压斜率的输出电流(I_P)。对于这些第一脉冲中的每一个，仅基于为这些第一脉冲中的一个或多个确定的该电压斜率和该输出电流来确定该电压斜率与该对应的输出电流之间的数学关系的至少一个系数(k，b)。对该至少一个系数应用测试函数并且选择与该至少一个系数相对应的、使该测试函数为真的最佳电压斜率值。一种用于介电衬底的等离子体加工的设备实施以上方法。