减少离子泵中的等离子体形成
公开
摘要
一种离子泵控制器被配置成在泵送的开始期间在增加与减小离子泵的阳极与阴极之间的电位差之间交替多次。
基本信息
专利标题 ：
减少离子泵中的等离子体形成
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114600224A
申请号 ：
CN202080077326.8
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
E·普里维特M·H·R·蒂尔利
申请人 ：
爱德华兹真空泵有限责任公司
申请人地址 ：
美国纽约州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
邹龙辉
优先权 ：
CN202080077326.8
主分类号 ：
H01J41/12
IPC分类号 ：
H01J41/12 H01J41/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J41/00
测量充入气体压强的放电管和装置；由离子扩散抽气的放电管
H01J41/12
由离子扩散抽气的放电管，如用离子泵、消气剂离子泵的
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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