一种减小双面研磨工件平面度误差的方法，属于机械研磨抛光加工领域，在双面研磨机的加工过程中，工件在游星轮内仍存在自转运动；且为了保证双面研磨过程中工件表面的运动均匀性，游星轮中心与工件中心存在一定距离。本发明针对带有偏心和自转的行星运动进行计算，首先，通过测量加工过程中转速，计算上下盘的材料去除差异；其次，通过计算上下面的面形变化，得到翻面时间；最后，经过多次翻面，实现双面平面度的收敛。本发明可以在双面研磨的基础上较大地减小工件上下表面的平面度，能够实现在精度较差研磨盘上实现高精度加工。