一种垂直曝光及检测装置
授权
摘要

本发明涉及曝光装置技术领域,尤其是指一种垂直曝光及检测装置,其包括机架以及均装设在机架上的曝光装置、菲林检测装置和用于将物料的传输方向垂直于所述机架进行输送的垂直输送料机构,所述垂直输送料机构输送的物料经过所述曝光装置进行曝光;所述菲林检测装置包括拉菲林机构以及菲林检测机构;所述曝光装置垂直设置于所述机架上;所述机架上装设有挡板,所述曝光装置和所述垂直输送料机构均位于所述挡板的一侧,所述菲林检测装置位于所述挡板的另一侧。本发明结构新颖,减少粘附在物料上的灰尘,并且可以减少传输时的磨损;可以有效提高检测效率,能够及时检测和处理,缩短检测时间,提高工作效率和生产效率;工作稳定性高。

基本信息
专利标题 :
一种垂直曝光及检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112882350A
申请号 :
CN202110050549.1
公开(公告)日 :
2021-06-01
申请日 :
2021-01-14
授权号 :
CN112882350B
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
倪沁心陈建明陈铁玉梁添贵杨大昆
申请人 :
广东华恒智能科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市南城街道白马振兴工业区先锋2路2号彼联科技园B栋0202
代理机构 :
东莞市华南专利商标事务所有限公司
代理人 :
黄焯辉
优先权 :
CN202110050549.1
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-24 :
授权
2021-06-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20210114
2021-06-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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