晶硅切割液及其制备方法和应用
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摘要

本发明公开了一种晶硅切割液,其组分包括高分子嵌段聚醚、醇类润湿剂A和醇类润湿剂B;高分子嵌段聚醚为环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷的嵌段共聚物;醇类润湿剂A为接环氧乙烷和环氧丙烷改性的醇类;醇类润湿剂B为接环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷改性的炔二醇乙氧基化合物。本发明晶硅切割液具有优良的润湿、冷却、润滑、清洗、带屑和低泡性能,还有很好的渗透性和抗菌性,可以循环使用;本发明晶硅切割液可以有效地降低硅片表面的TTV,降低线痕,降低金刚线与硅片表面的摩擦,提高一级品率;本发明晶硅切割液还可有效地保护金刚线,减少金刚线的磨损,提高金刚线的耐用度,进而提高产能和经济效益。

基本信息
专利标题 :
晶硅切割液及其制备方法和应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112779079A
申请号 :
CN202110175428.X
公开(公告)日 :
2021-05-11
申请日 :
2021-02-09
授权号 :
CN112779079B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
邓舜马琦雯
申请人 :
常州时创能源股份有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202110175428.X
主分类号 :
C10M173/02
IPC分类号 :
C10M173/02  B28D5/00  C10N30/06  C10N30/04  C10N30/18  C10N30/16  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C10
石油、煤气及炼焦工业;含一氧化碳的工业气体;燃料;润滑剂;泥煤
C10M
润滑组合物;在润滑组合物中化学物质或单独使用或用作润滑组分
C10M173/00
含水量大于10的润滑组合物
C10M173/02
不含矿物油或脂肪油的
法律状态
2022-04-01 :
授权
2021-05-28 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C10M 173/02
申请日 : 20210209
2021-05-11 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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