一种硅晶圆激光切割装置
授权
摘要
本实用新型属于切割装置技术领域,尤其为一种硅晶圆激光切割装置,包括底座,所述调节盘通过调节组件带动切割板转动,所述切割板的上表面放置有晶圆本体,晶圆本体的两侧架设有夹持片,所述切割板的内部架设有调节丝杠,所述夹持片的底端贯穿切割板的上表面并套接在调节丝杠的外壁,所述切割板的内部设有抬升组件,所述支架的下方通过辅助调节组件固定有激光切割头;调节丝杠转动过程中改变夹持片的间距,以此对晶圆本体进行夹持与固定,调节伸缩杆伸长时能够带动延伸杆、支撑杆顶起,使得晶圆本体抬升,便于晶圆从切割板上分离,切割设备使用过程中不需要工作人员辅助操作,有效的提升设备的工作效率。
基本信息
专利标题 :
一种硅晶圆激光切割装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921024300.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-02
授权号 :
CN210306302U
授权日 :
2020-04-14
发明人 :
廖海涛
申请人 :
无锡邑文电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市滨湖区高运路109号
代理机构 :
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄冠华
优先权 :
CN201921024300.8
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38 B23K26/70 B23K26/08 B23K37/04
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2020-04-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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