本发明公开了一种晶圆边缘磨削加工方法及装置，属于晶圆加工技术领域。该装置包括磨边机构和固定机构，磨边机构包括第一底板和位于第一底板上的打磨机，打磨机靠近固定机构一端设有第一磨砂轮，固定机构包括第二底板和位于第二底板上的吸附装置，吸附装置包括中空马达和真空吸附泵，中空马达靠近磨边机构一端连接有用来吸附晶圆的吸盘头，吸盘头与真空吸附泵通过管路连接，第一磨砂轮包括第一打磨环和第二打磨环。本发明可以有效降低晶圆磨削过程中的磨削力和磨削热，打磨机和晶圆位置调节方便且稳定，在晶圆转动时也可微调角度，提高晶圆边缘打磨质量，可以在晶圆边缘处形成不同形状的台阶，减少晶圆打磨减薄时边缘崩边和碎裂的概率。