一种射频开关器件版图结构及射频开关器件
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摘要

本发明公开了一种射频开关器件版图结构及射频开关器件,版图结构包括设置于外延层上的第一电极、第二电极、栅极、第一辅助金属块、第一金属块,栅极包括至少一子栅极,第一辅助金属块设置于相邻第一子栅极的第一方向子栅极部分之间,第一辅助金属块在宽度方向上设置于第一电极指电极其远离第一电极主电极的一端处与第一子栅极的第二方向子栅极部分之间,第一金属块与第二电极主电极通过金属连接线相连且与第一子栅极的第二方向子栅极部分绝缘隔离。本发明用沟道电阻的方式去实现用于稳定栅极之间电压的Rds,并嵌入进射频开关器件内部,从而节省布局空间,有利于降低射频开关的整体成本,同时增加了射频开关器件耐功率能力,P1dB和隔离度均提高。

基本信息
专利标题 :
一种射频开关器件版图结构及射频开关器件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112992893A
申请号 :
CN202110187435.1
公开(公告)日 :
2021-06-18
申请日 :
2021-02-18
授权号 :
CN112992893B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
张永明蔡文必吴扬林义书高谷信一郎
申请人 :
厦门市三安集成电路有限公司
申请人地址 :
福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202110187435.1
主分类号 :
H01L27/02
IPC分类号 :
H01L27/02  H01L27/085  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
法律状态
2022-04-08 :
授权
2021-07-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/02
申请日 : 20210218
2021-06-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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