一种非接触式光学轮廓测量方法和装置
授权
摘要
本发明提供了一种非接触式光学轮廓测量方法和装置，所述装置包括转动副、转动副驱动器、角度传感器、直线位移传感器、导轨副、导轨副驱动器、测量传感器支架、球面基准镜、球面基准镜支架和底部基座；本发明的装置涉及的机械系统包括两维的直线运动和三维的转动，通过机械系统带动高精度的测量传感器和被测件按照预定轨迹运动，进而完成被测件轮廓的测量。本发明的测量方法具有通用性强、测量效率高、准确性高等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种非接触式光学轮廓测量方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113465533A
申请号 ：
CN202110701252.7
公开（公告）日 ：
2021-10-01
申请日 ：
2021-06-23
授权号 ：
CN113465533B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
王建立糜小涛陈琦杨永强王之一陈宝刚明名张玉良
申请人 ：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址 ：
吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
代理机构 ：
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高一明
优先权 ：
CN202110701252.7
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-10-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20210623
申请日 : 20210623
2021-10-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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