一种红外探测器及其制备方法
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摘要
本发明涉及一种红外探测器及其制备方法，属于探测器技术领域，该探测器包括：衬底，所述衬底包括光子晶体阵列，所述光子晶体阵列位于所述衬底的底部，所述光子晶体阵列包括n组四色探测单元，一组所述四色探测单元包括四个光子晶体组，每个所述光子晶体组包括四个不同波段的光子晶体；外延层，在所述衬底表面外延得到，所述外延层包括焦平面阵列台面，所述焦平面阵列台面位于所述外延层的顶部，所述焦平面阵列台面的凸出部分为像元；所述光子晶体阵列与所述焦平面阵列台面相对设置，其中所述光子晶体组与所述像元相对设置；其中，n为大于或等于1的整数。
基本信息
专利标题 ：
一种红外探测器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113488558A
申请号 ：
CN202110764262.5
公开（公告）日 ：
2021-10-08
申请日 ：
2021-07-06
授权号 ：
CN113488558B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
郝宏玥牛智川徐应强王国伟蒋洞微吴东海
申请人 ：
中国科学院半导体研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
鄢功军
优先权 ：
CN202110764262.5
主分类号 ：
H01L31/101
IPC分类号 ：
H01L31/101 H01L31/18 H01L27/146
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2021-10-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/101
申请日 : 20210706
申请日 : 20210706
2021-10-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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