基于共焦光路的三维测量系统和方法
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摘要

本发明公开了一种基于共焦光路的三维测量系统,包括:照明组件,用于输出入射光线;色散物镜组件,用于将入射光线色散展开成不同波长的光线,将其中目标波长的光线分别聚焦在被测物的对应测量点上,并接收由测量点反射的出射光线;滤波组件,设置于照明组件和色散物镜组件之间,包括小孔掩膜阵列板,设置有若干个间隔设置的小孔,每个测量点反射的出射光线分别聚焦至其对应的小孔;分光成像组件,用于接收穿过小孔的出射光线,并将每个小孔穿过的出射光线分别聚焦在成像面上与小孔和测量点对应的像面坐标。其可以解决现有的三维测量系统采用复杂的光纤拼凑在一起传输光线导致工艺难度大,无法做到被测物上多点同时准确测量的问题。

基本信息
专利标题 :
基于共焦光路的三维测量系统和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113358060A
申请号 :
CN202110910159.7
公开(公告)日 :
2021-09-07
申请日 :
2021-08-09
授权号 :
CN113358060B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
邓俊涛刘荣华郑增强
申请人 :
武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司;上海精濑电子技术有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路22号
代理机构 :
武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张英
优先权 :
CN202110910159.7
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-04-01 :
授权
2021-09-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20210809
2021-09-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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