本发明公开一种厚膜混合集成电路产品烘烤参数的确定方法，包括取样步骤、样品称重步骤、水汽定量测量步骤和水汽定性测量步骤，在厚膜混合集成电路产品上取粘接胶样品；将样品放置于热失重分析仪内称取初始样品的重量，用热失重分析仪对样品进行加热，使样品挥发出水汽，当样品的重量不再变化后，称量出最终样品的重量，并将各时段样品的重量和加热温度数据导入至显示屏上；用红外光谱仪对样品挥发出的水汽进行红外光谱检测，对水汽进行定量分析，将水汽的各成分的浓度数据导入至显示屏上；用气质联用仪对水汽进行定性检测，并利用曲线方程，可分别得到水汽中各成分以及各成分所对应的相对浓度值，并将各成分及其相对浓度数据导入至显示屏上。