一种柔性单晶薄膜光电探测器件及其制备方法
公开
摘要
本发明属于微纳制造与光电探测器件相关技术领域，其公开了一种柔性单晶薄膜光电探测器件及其制备方法，其制备方法包括以下步骤：(1)采用直流磁控溅射技术在NaCl晶体表面制备单晶薄膜材料；(2)薄膜从NaCl晶体表面剥离；(3)在柔性塑料基底上制备电极结构；(4)将剥离脱落的单晶薄膜转移至形成电极结构的塑料基底上，制备完成。本发明具有工艺简单、生产过程及产品均绿色环保，成品率高、制造成本低，可实现宽波段探测、响应率高及高柔性等优点，适于规模化工业生产，在光电探测和可穿戴设备等领域具有广阔的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性单晶薄膜光电探测器件及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114300571A
申请号 ：
CN202111231054.5
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-10-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘云杰武玉鹏赵世荣刘英明郝兰众
申请人 ：
中国石油大学（华东）
申请人地址 ：
山东省青岛市黄岛区长江西路66号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111231054.5
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/09 C23C14/00 C23C14/04 C23C14/20 C23C14/35 C30B23/00 C30B29/46
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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