一种柔性氮化镓光电探测器激光快速制备方法
授权
摘要
本发明提供一种柔性氮化镓光电探测器激光快速制备方法，包括以下步骤：(1)将柔性衬底与氮化镓外延片贴合；(2)调节光束焦平面位置，并保证光束从氮化镓外延片衬底一侧入射；(3)使光束从步骤(1)所得样品结构的边缘开始进行扫描辐照；(4)调整工艺参数，沿步骤(3)所述路径反方向扫描辐照；(5)取下外延片原始刚性透明衬底，获得Ga金属纳米颗粒/氮化镓薄膜/柔性衬底结构；(6)对步骤(5)所得Ga金属纳米颗粒表面制备叉指电极。本发明采用激光技术一步制备出具有Ga金属纳米颗粒原位分布探测表面的柔性氮化镓光电探测器，在简化工艺的同时诱导探测器表面形成等离激元效应(SPR)，大幅增强了光吸收及光响应性能，适用工业生产。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性氮化镓光电探测器激光快速制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113770512A
申请号 ：
CN202110883036.9
公开（公告）日 ：
2021-12-10
申请日 ：
2021-08-02
授权号 ：
CN113770512B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
季凌飞孙伟高
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘萍
优先权 ：
CN202110883036.9
主分类号 ：
B23K26/0622
IPC分类号 ：
B23K26/0622 B23K26/082 B23K26/70 H01L31/18 B23K101/40
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/02
工件的定位和观测，如相对于冲击点；激光束的对正、瞄准或聚焦
B23K26/06
激光束的成形，例如，利用掩膜或多次聚焦
B23K26/062
直接控制激光束的
B23K26/0622
通过成形脉冲的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2021-12-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/0622
申请日 : 20210802
申请日 : 20210802
2021-12-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
