一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法，属于光电探测器件制造技术领域。该激光探测器包括衬底和沉积在衬底上的氧化钛薄膜，所述氧化钛薄膜为四方金红石型晶体结构，厚度为200~300nm，厚度延伸方向与衬底的倾斜方向的夹角为5~15°。本发明可以有效地避免紫外强激光对化学键的选择破坏而造成的优先溅射问题。其制备方法可生长得到致密且结晶度良好的氧化钛薄膜，制备的激光探测器具有探测波段宽，响应速度快，灵敏度高的优点，并且能抗紫外强激光辐照。
基本信息
专利标题 ：
一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114497280A
申请号 ：
CN202210083968.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周小红周小芳余乐平路露徐律
申请人 ：
无锡商业职业技术学院
申请人地址 ：
江苏省无锡市钱胡公路809号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
张雯
优先权 ：
CN202210083968.X
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 C23C14/08 C23C14/28 C23C14/58
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20220125
申请日 : 20220125
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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