非晶MgGaO薄膜的光伏探测器及其制备方法和应用
实质审查的生效
摘要
本发明涉及光伏探测技术领域，具体涉及一种非晶MgGaO薄膜的光伏探测器及其制备方法和应用，包括利用金属有机化合物化学气相沉积法使有机镁化合物、有机镓化合物和氧源在衬底的表面生长MgGaO薄膜；在MgGaO薄膜上形成叉指电极；在叉指电极上按压In粒，得到MgGaO光伏探测器，使用金属有机化合物化学气相沉积法制备MgGaO薄膜，使MgGaO薄膜具有结晶质量高、不出现分相、吸收截止边陡峭的优点，解决了传统的制备方法所制备的MgGaO薄膜晶体质量不高，缺陷态较多的问题。
基本信息
专利标题 ：
非晶MgGaO薄膜的光伏探测器及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114361276A
申请号 ：
CN202111627532.4
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
董美林丽君郭建军季旭刘同来孔壹右叶俊伟梁志华张万桢李家蝉马佳升陈杰鑫
申请人 ：
仲恺农业工程学院
申请人地址 ：
广东省广州市海珠区纺织路东沙街24号
代理机构 ：
重庆莫斯专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周卫清
优先权 ：
CN202111627532.4
主分类号 ：
H01L31/032
IPC分类号 ：
H01L31/032 H01L31/0224 H01L31/108 H01L31/20 H04B10/25 C23C16/40 C23C16/56 C23C28/00 C25D5/02 C25D5/18 C25D7/12
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/032
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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