形成去除了多余压电材料的XBAR装置
实质审查的生效
摘要
一种形成滤波器装置的方法，在基板上形成粘合层，基板具有在单个管芯上的用于第一空腔的至少一个位置和用于第二空腔的至少一个位置。压电板粘合到粘合层并跨越第一空腔和第二空腔。压电板的超出第一空腔和第二空腔的周边延伸一定长度的多余部分被去除。多余部分可以是压电材料，压电材料在长度和宽度方向上延伸空腔周边至超过空腔周边的2％到25％。叉指换能器(IDT)位于压电板的正面上，并且在第一空腔上方具有交错的指状物。
基本信息
专利标题 ：
形成去除了多余压电材料的XBAR装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114499439A
申请号 ：
CN202111335505.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-11-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
温切斯拉夫·扬捷切夫
申请人 ：
谐振公司
申请人地址 ：
美国德克萨斯州
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
董科
优先权 ：
CN202111335505.X
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/125 H03H9/56 H03H9/58
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20211111
申请日 : 20211111
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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