图形形成材料以及图形形成装置和图形形成方法

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明提供即使是高感度的感光层也能够同时具有优异的显像性和粘性、而且通过抑制感光层上成像的像的变形可以高精细地且高效地形成适于制造含有封装基板的印刷配线基板等的图形、半导体领域中的高精细的永久图形的图形形成材料以及图形形成方法和图形。因此，提供一种图形形成材料，所述图形形成材料至少具有使用感光性组合物得到的感光层，所述感光性组合物至少含有：环氧丙烯酸酯化合物的至少1种和侧链具有丙烯酰基和酸性基团的乙烯基共聚物的至少1种的粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂和热交联剂，在对该感光层进行曝光、显像时，在该曝光和显像后不使所述感光层曝光的部分的厚度发生变化的所述曝光中所使用的光的最小能量为0.1～80mJ/cm²。

基本信息

专利标题：

图形形成材料以及图形形成装置和图形形成方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101137937A

申请号：

CN200680007540.6

公开（公告）日：

2008-03-05

申请日：

2006-01-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

若田裕一林利明高柳丘

申请人：

富士胶片株式会社

申请人地址：

日本国东京都

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

朱丹

优先权：

CN200680007540.6

主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/004 G03F7/027 G03F7/038 G03F7/20 H01L21/027 H05K3/00