本发明提供一种图形形成方法，其包括在被处理基板上形成感光性树脂膜，对所述感光性树脂膜有选择地照射能量线，在多个曝光区域各自上形成预期的潜像图形，在形成所述潜像图形后，在设在热板上的衬垫上载置所述被处理基板，采用所述热板加热所述感光性树脂膜，为形成与所述潜像图形对应的感光性树脂膜图形而对所述感光性树脂膜显影，所述图形形成方法，在所述能量线的照射时，以使在所述被处理基板背面和所述热板表面的距离大的曝光区域的所述能量线的照射量，相对大于在所述被处理基板背面和所述热板表面的距离小的曝光区域的所述能量线的照射量的方式，设定所述能量线的照射量。